光刻机行业交流纪要

上海微电子推出了28nm的demo了吗，具体情况怎么样?

是的。1月份通过科技部验证，2月份发往客户,具体用于多少nm的产线不清楚,

去年从知情人士得知28nm的demo需要24年年底才能推出，为什么提前这么早推出?

先前科技部验证失败了几次，问题主要出在工件台、传输的稳定性，光的均匀，以及其他零部件的稳定性，运行起来容易故障报错。在去年与相应供应商解决了零部件问题，公司加强研发的强度，加班三班倒，将核心点奕破后，demo得以提前推出。

公司对技术人员的激励有变化吗?

从去年下半年开始，薪资微调，开始发放加班费，提供后勤保障，奖金增发百分之二三十，加起来薪资一共有40-50%的调整。目前公司也没有强制要求，工作的弹性已比较灵活.

公司有新专家加入吗?

没有，近两年没有新人加入。

发往客户的28nm的demo.它的良率和曝光的精准度如何?

良率无法计算，这款是样机，无法完全用于产线的量产。之所以发往中芯国际而不是ICRD，给ICRD发的是子系统，不是整机。中芯在该项目的工艺较强，加之华为在深圳，国家统筹这三个公司做这方面的事。只能等跑出小批量后才能看到良率，一台设备的产能和良率数据最早需要一年半左右才能得到。光刻机在实验室时，只是将图片曝出来，到产线上，但和实际使用情况差距比较大

科技部验收的标准是什么?

很简单。在品圆上把片子曝出来，尺寸到位，图片能出来就可以。国家的验收标准和实际工厂的使用不同。比如ASIML，它的光刻机研发出来后发往台积电，大概需要两年时间才能用于完全量产，这明问是需要和foundry下一步合作研发。

去年出了几台90nm? 分别出给谁?

长江存储、中芯国际、上海积塔。90nm到现在一共出了三四台，今年预计要出三四台，订单已有4台。订单分别是给长江存储 (复购) 、燕东微电子、合肥长鑫、青岛芯恩

90nm一台多少钱? 一年产能多少? 有扩产的计划吗?

一台9000多万，一年产能有六七台，一年产值差不多6个亿。扩产目前没有计划，如果订单量提高，可以通过三班的方式扩产，大概能扩产一半的产能。

长江存储的光刻机先前出现问题，运行四小时后需要重新调对准，问题现在解决了吗? 在什么时候，如何解决的?

解决了。由分系统的技术人员解决，具体方法不清楚。

28nm专项是公司主导还是有其他玩家参与，领导是谁?

是国资委。28nm专项组中没有华为的人。但下一代光刻机EUV光源方面有上海微电子和华为。深圳国资委和上海国资委在去年11月成立了新公司，其中40%是上海微电子的人，60%是华为的

华为自己做的光刻机和专项是两码事吗?

是的。华为分三块在做。一方面是下一代EUV光源的研发，另一方面是和Fab厂中芯国际、上海微电子把28nm调出来;第三块是从上海微电子挖来了许多分系统的项目经理，负表买尼康的设备进行调试。买二手的尼康，大概有5台。

不限制运输，为什么还要买尼康的二手?

买二手设备是从挖去华为的人得到的消息，主要负责二手光刻机的精度调试，但具体原因不详

华为那儿的尼康是最新的35型号吗?

用最新款，将来调试后就可以做到14nm的芯片。通过浸没式把波长从一百九十几变成154的波长缩短波长，原理和ASML的20001差不多，通过双控电台达到多重曝光的技术。买来的机器本来是干式的，要加浸没系统，变成湿式的、浸没式的。然后再改工件台。从前是单工电台，现在是双工件台。

光刻机下每一个分系统的简介?

激光器、光源系统、掩膜台、调教调频检测等很多部分姐成。激光器通过光源系统打出来，通过物镜系统，净化光的走线、波长，随后进入曝光系统，把光通过镜头达到工件台上，

光刻机各分系统的成本结构?

目前许多零部件还是定制化，因为量不高价格较贵。90nm的光刻机利润只有20%不到。曝光系统成本较贵，15%，激光器是光源系统中的一部分，大概占3-5%，工件台占12%左右，物镜大概10%，浸没系统大概8%。

各个分系统的供应商?

光源系统由科益虹源、福品科技在做，科益虹源做整个光源系统的系统集成，其中的光源器由福品科技做。物镜供应商是国望光学。里普光电是光源的一个激光器，但它是物镜系统中非核心的东西，整个物镜系统由国望光学组装。因为国望光学章了02专项的钱，福品科技没有参与到项目中掌到项目资金的公司不能上市。比如国科精密做曝光光源系统、华卓精科双工件台、启尔电机做漫没系统、科益虹源做光源系统、国里光学做物镜系统，以及上海微电子。3月10日上市的茂来光学做镜片，物镜和光源系统中很多系统都用到镜片，一台光刻机中有20个。光刻机中的镜头采购海外的蔡司占30%，70%是茂来的，茂来份额很大，蔡司和茂来的产品基本没什么差别。公司的供应链基本是同一个供应链，原先的核心零部件基本是采购田外的，但因断供问题导致产品交付推迟。

光刻机的零部件国产化率是多少?

28nm研发从产品立项开始，所有的重要零部件都已实现国产化。90nm的现在国产化率已达到70-80%。剩下的20%是板卡等内容，板卡不仅限于光刻机在使用，国内有很多代理商代理，无法全部限制。板卡即控制芯片加一些电路，它不是核心的东西，所有有限制的零部件和未来可能限制的都已国产化，非核心的东西无法做到100%国产化。通过众多代理商可以进行采购，哪怕国产昔代也很快可以研发实现。

28nm做出来后，只要用户验证，通过能进行量产就相当于完成项目了?

是的，28nm只要能把芯片做出来才算完成项目，14nm或者中兴那边7nm的制程工艺，即通过多重曝光能做到7nm工艺的情况下，7nm及更高工艺的芯片就不会受到限制。公司的产品对标ASML的NXT20001。

华为计划在25年要扩月产30-35万片的12寸产能吗?

这个传言是达不到的，除非华为下一步继续弄到光刻机。通过尼康的东西，可以做到14nm，但7nm的芯片做不了。一台光刻机，只有ASML的光刻机可以达到一年20万的产能，其他厂商达不到

华为会从公司采购光刻机吗? 28nm的能再卖给华为吗?

卖不了，28nm的光刻机目前还没能完全用到产线，采购也没有用，只有把兼容性和一些不确定的因素都解决以后，华为才会去采购。如果华为要做7nm芯片，是买不到光刻机的。2000I的光刻机被美国限制不允许出口到中国。在去年早期就已有消息，28nm的千式和单工件台可以卖给国内，但28nm的双工件材料不允许卖给中国大陆。

如果采购索尼和尼康的设备，最多能用到多少nm?

仍然是28nm，再高一些的16、7nm都做不了，如果像华为，把其改成浸没式，有可能可以做。

华为的28nm非美产线有拉通吗?

没有拉通，如果美田也限制尼康，那么28nm的也会做不了，但美国不打算限制28nm的光刻机。美国目前对ASML的限制就停留在单工件台，28nm以上的东西美国和ASML都不会限制。

华为的28nm非美产线，如果政策面不动何时能拉通?

华为的那5台在去年就已经在实验室验证通过了，差不多今年就能上产线，如果5台尼康改造的设备能在产线使用，那么14nm的芯片就能做出来，也就是非美产线就可以拉通，但7nm短期还造不出来，但如果中芯深圳的14nm/7nm产线在一到两年后跑通，就意味着14nm实现了非美的自主可控到时候美国对我国7nm及以上制程的芯片完全没有任何可卡脖子的地方。

光刻机的进展这么快很不可思议，是为什么呢?

公司的员工也觉得很不可思议，去年上半年产品总监开会时，立项延期到什么时候都还不确定，因为对产品的完成大家很没信心。28nm产品夹然发布，公司很多人都不知道，保密做的非常到位。

那发展快充竟是突破了哪些环节?

主要是传输的稳定器、运动台的加速度、物镜系统中光的稳定性，光照到片子上时，一直很难呈现出完警的图案，以及产品兼容性，原先可能跑几个小时就会故障，无法通过可靠性检验，这么快的实现可能是产品与产品之间的公差正好被项目人员调到了。目前公司准备开始组装第二台，第一台改了很多东西，包括几大核心零部件也改动很多。第一台是摸着石头过河，但准备通过第二台找直正的原因。

目前很难去评判这台28nm光刻机性能如何，对吗?

是的，测试在公司只要通过一个品圆片，跑出图形就可以，但是到客户现场去跑客户的产品，长久使用和短期做了一个东西是完全不同的，

90nm目前的良率是多少，和ASML对标的水平大概是多少?

根把客户反馈的数据，和ASML良率和产能要下降10-15%左右，产量的数据目前还没有。

听说有的买来公司的机器回去后不使用，放一旁吃灰是什么情况?那是17年的事情，17、18年卖出的设备存在各种问题，后来又拉回公司，最后真正量产是在2021年

28nm的可以转14和7nm的可以用来做存储吗? 还是只能做逻辑芯片?

目前还没做过，理论上是可以的，实际怎么样不知道，因为机器还没组装好。

华为究竟有几家子公司，哪些公司是华为的?

不清楚，许多公司就是在某个园区里租了个小房子成立的，从组织架构上看和华为没有任何关系从投资关系上看最后的大股东就是国资委，看不到华为的任何信息。

EUV的光源是哪家厂商在做?

由华为做下一代的研发，华为承包了一个分系统，和上海微电子两家来做

先进制程的扩产会不会平新开始?目前高端设备没有，但是终端设备是有的。许多公司都在扩产了，深圳发布了信息，做封装或品圆方面，中芯国际也做了投资。华为在上海青浦也建了新的半导体工厂，上海市政府也投资了很多线。