纳米压印

近日,日本佳能公司宣布推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造设备,该设备执行电路图案转移,是重要的半导体制造工艺,未来有望对应2nm节点。据悉纳米压印技术是传统复杂光学光刻技术的替代解决方案,在集成电路领域的应用可实现更低成本的芯片量产。

概念股
美迪凯 688079
公司控股子公司美迪凯(浙江)智能光电科技有限公司在纳米压印制程领域,具有自主知识产权及核心技术。
利和兴 301013
公司全自动纳米压印生产线技术运用快速精密对位、非接触精确测厚、精密缺陷检测、光透传感、位移及角度补偿等自动控制相关技术,结合纳米压印的纳米模压技术与固化技术,把纳米压印行业内的单机手工作业方式改变为全工序自动化方式。
滤光片、棱镜、光波导
公司有纳米压印技术,主要用在半导体光学产品中。
汇创达 300909
公司立足微纳米热压印技术,致力于研发透光率高、量轻、所需能耗小的导光产品,背光模组是公司基于自身导光膜产品结合微纳米热压印工艺的延伸产品,是公司的主营产品之一。
微纳米产品
公司高端智能装备包括直写光刻、3D光刻、投影/扫描光刻、纳米压印光刻设备等,部分直写光刻设备已向国内外高校及科研院所、国内企业等销售。
已完成衍射光波导全光学系统的功能设计与仿真,并探索纳米压印技术中清洗、匀胶、增粘、烘胶、压印和脱模等工艺;2023年上半年,公司新增纳米压印衍射波导片项目。
VR代工
公司较早开展在光波导、纳米压印等AR光学核心产品和工艺领域内的探索,并已经积累了AR核心器件、模组以及AR整机项目的相关项目经验。
准备成立南京分公司,进行衍射光波导纳米压印产品开发(衍射光波导涉及表面浮雕光波导和全息体光栅波导)。2023年上半年,公司新增纳米压印衍射波导片项目。
VCSEL激光器
公司目前已布局的光学加工工艺包括晶圆级同步结构化技术、精密模压、冷加工、注塑、纳米压印等,得以覆盖无机材料、有机高分子材料等各类微光学元器件的加工制备。