美埃科技(688376)
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题材
| 题材 | 关联原因 |
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| 光刻机 | 公司为上海微电子所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准（ISO Class 1级）洁净环境提供EFU（超薄型设备端自带风机过滤机组）及ULPA（超高效过滤器）等产品，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。公司从2006年至今为中芯国际多地工厂供应风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障中芯国际系的历代产品线（包括中芯国际最先进的14nm和28nm制程）对空气洁净度的要求。 |
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