华懋科技(603306)

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光刻胶参股子公司徐州博康是国内半导体光刻胶领先企业,已实现 I 线胶和 KrF 胶批量生产,有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单,包括ArF-immersion产品及ArF-dry,KrF,I-line等。其中,ArF-immersion产品已经适用于28-45nm制程。
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