英诺激光(301021)

详细描述:①深紫DUV光源开始放量接单(预期200亿) ②极紫EUV光源研发加速,预计明年正式放量(预期300亿)。 ③)光源占光刻机成本的27%,光源是光刻机成本占比最高的部件。
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光刻机①深紫DUV光源开始放量接单(预期200亿) ②极紫EUV光源研发加速,预计明年正式放量(预期300亿)。③)光源占光刻机成本的27%,光源是光刻机成本占比最高的部件。
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