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核心题材：krF光刻胶

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光刻胶	krF(248nm)厚膜光刻胶产品成功取得首笔订单，定增助力 KrF&ArF 光刻胶实现量产，持有38%股权的子公司芯刻微购得ASML XT 1900 Gi型二手光刻机一台

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【公告】20240517 关于芯征途（三期）持股计划完成非交易过户的公告

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