TGV
大摩的最新研报中提到了GB200将带来两个增量环节:
1)半导体测试:GB200中,英伟达采用了大芯片的战略,芯片尺寸的增大会导致良率下降,进而拉动对半导体测试的需求。
2)半导体封装:GB200采用的先进封装工艺将使用TGV技术。
中阶层是一种基板,是先进封装中多芯片模块传递电信号的管道,可以实现芯片间的互联,也可以实现与封装基板的互联,充当多颗裸片和电路板之间的桥梁。在硅转接板上穿越中介层的是TSV技术(硅通孔),而在玻璃转接板上穿越的中介层就是TGV(玻璃通孔)
玻璃通孔(TGV)技术概述:
定义:TGV(Through Glass Via)是穿过玻璃基板的垂直电气互连技术,与TSV(Through Silicon Via)相对应,被认为是下一代三维集成的关键技术。
基材:使用高品质硼硅玻璃、石英玻璃等。
制造工艺:包括种子层溅射、电镀填充、化学机械平坦化、RDL再布线和bump工艺。
尺寸:TGV的直径通常为10μm-100μm。
TGV技术的优势:
光学性能:高透明度、低荧光。
化学和机械性能:高耐化学性、化学惰性、各向同性、良好的机械稳定性、低热膨胀、热膨胀系数可调。
电气性能:作为完美的隔离器、低插入损耗、光滑的表面可实现细线光刻。
成本和功耗:厚度减少,性能密度提升,成本和功耗降低。
应用领域:
2.5D/3D晶圆级封装、芯片堆叠。
MEMS传感器和半导体器件的3D集成。
射频元件和模块、CMOS图像传感器(CIS)、汽车射频和摄像头模块
中国大陆TGV进展:
厦门云天半导体、沃格光电、湖北通格微、成都迈科、三叠纪科技、五方光电、赛微电子、大族半导体、帝尔激光、苏州甫一电子、蓝特光学、苏州森丸电子等公司在TGV技术方面取得了显著进展
拓展阅读
20240522 玻璃基板专家交流纪要20240519
概念股
沃格光电 603773
公司以自主研发的 TGV 技术为基础,通过叠加公司所拥有的玻璃基薄化、双面多层镀铜线路堆叠、绝缘膜材以及巨量通孔等工艺和材料开发技术能力,聚焦玻璃基在半导体先进封装载板以及新一代半导体显示等领域的量产化应用
帝尔激光 300776
已于2022年3月实现首台TGV激光微孔设备出货
德龙激光 688170
公司重点研发出玻璃通孔(TGV)、模组钻孔(TMV)、激光解键合等激光精细微加工 设备,目前相关新产品已获得订单并出货
天承科技 688603
公司研发并推出了集成电路相关的功能 性湿电子化学品,其中,RDL、bumping、TSV、TGV 等部分先进封装电镀液已推向下游测试验证
五方光电 002962
滤光片已具备TGV产品批量交付能力
三超新材 300554
公司的倒角(边)砂轮可用于基板的倒边工序
雷曼光电 300162
公司已与上游合作伙伴合伙研发推出了PM驱动结构+玻璃基板的创新方案
光力科技 300480
切割划片机可以应对玻璃基板的切割需求
阿石创 300706
靶材公司产品可用于玻璃基板镀膜和材料沉积