至纯科技(603690)

核心题材：清洗设备
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半导体设备清洗设备两家龙头之一，已在技术难度更高的单片式设备上获得突破，并在几个特殊工艺上（晶背清洗、高温硫酸、异丙醇干燥）弥补了国内空白。
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