中科院成功研发全固态DUV光源技术

$福晶科技(SZ002222)$

中科院最新研发的 193nm全固态DUV激光器采用 Yb:YAG晶体放大器 + LBO晶体波长转换技术，福晶科技是 LBO晶体的全球最大供应商（市占率60%），且中科院福建物构所持股20.58％，是最大股东。

$英诺激光(SZ301021)$ 英诺激光官网，全球少数实现工业深紫外纳秒激光器批量供应的生产商之一，我看了产品，最高功率是40w的，中科院是70w，ASML是100w以上，还是有差距。

$锐科激光(SZ300747)$ 在售波长213nm的深紫外激光器可用于DUV激光检测。