1. 赛微电子

主要提供MEMS反射转镜，子公司Silex为全球光刻龙头公司提供微镜系统，是该公司微镜的主供

2. 福晶科技

中科院福建物构所控股，曾间接供应ASML。子公司“至期光子”聚焦纳米精度的超精密光学元件制造及复杂光机组件的研发，后期有望提供精密光学元件、晶体

3. 奥普光电

中科院长光所控股，国内高端光栅编码器龙头，布局超精尺，理论上可用于光刻机，后期有望提供光栅编码器

4. 茂莱光学

研发的DUV光学透镜已应用于SMEE国产光刻机中，半导体检测设备光学模组供货KLA

5. 福光股份

国内航天级光学镜头的重要供应商，募投项目布局超精密光学加工，有望为光刻机等领域提供高精密光学镜头及光学系统

6. 美埃科技

为SMEE开发28nm光刻机提供EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组及ULPA(超高效过滤器)，也是SMIC、STM、Intel等的供应商

7. 波长光电

成功开发了光刻机平行光源系统，可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序

具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，激光检测和测量相关产品进入半导体光刻领域配套检测产业

8. 炬光科技

西安光机所投资，供货给世界顶级光学公司并最终应用于ASML核心设备，同时也应用于国内主要光刻机研发项目和样机中

9. 腾景科技

应用于光刻机光学系统的合分束器处于样品验证阶段

10. 苏大维格

向SMEE提供定位光栅部件，光栅尺周期精度小于1nm，且纳米压印技术国内领先

11. 蓝英装备

位于瑞士的二级子公司SECH为ZEISS用于芯片制造的镜头及半导体生产提供精密清洗设备，为ASML提供精密清洗解决方案

国内光刻机产业链厂商梳理